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太阳能电池厂处理PECVD废气用什么方法好

  太阳能电池厂处理PECVD废气用什么方法好

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  硅烷燃烧塔主要处理PECVD废气。 
 
  处理工艺:PECVD废气通过管道进入硅烷燃烧塔的硅烷燃烧室,同时通入一定量的压缩空气。硅烷在常温空气中即可自燃,硅烷燃烧后的温度约500℃~600℃可引起氢气燃烧。因此,在燃烧塔的硅烷燃烧筒内,硅烷和氢气首先被燃烧处理,燃烧反应方程式为: 
 
  燃烧后的废气经由重力沉降室,大部分燃烧生成的SiO2等粉尘经过沉降,废气流速降低再进入硅烷燃烧塔的氨气洗涤塔。氨气洗涤塔中装有填料,塔顶喷洒的酸性洗涤水。氨气被酸液化学吸收,一般可能保证氨气80%以上的去除率。 

  燃烧筒中废气燃烧产生的SiO2粉尘从底部的排渣口排出。为保证填料塔的去除效率,洗涤液定期更换,更换后的废水进污水处理设施进行处理,见图2。 



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